PERALATAN DALAM TEKNOLOGI NANO

Sebelum tahu 1980an tiada  peralatan yang dapat digunakan untuk menghasikan teknelogi nano ini. Ini menyebabkab penyedikan dan penghasilan nano menjadi terbantut dan tidak dapat diteruskan. Pada awal 1980an, penyelidik-penyelidik di IBM telah mereka dua teknik ´microscopy´ iaitu ´atomic force microscopy´ (AFM) dan ´scanning tunneling microscopy´ (STM).

Kedua-dua teknik ini menggunakan ´cantilever´ yang kelihatan seperti jarum, untuk membaca satu permukaan secara terus, seperti bagaimana jarum pemain rekod membaca rekodnya.

AFM berfungsi dengan melalukan ´cantilever´ tersebut berdekatan dengan beberapa nanometer sebuah permukaan tersebut. Kuasa atom yang menggerakkan ´cantilever´ ini diukur untuk membentuk satu peta topografi atom ke atom.

STM adalah hampir sama, tetapa ia mengukur kesan quantum yang dipanggil penerowongan. ´Cantilever´ STM mempunyai cas yang kecil.

Teori fizik mengatakan bahawa satu dinding tenaga akan menghalang cas dari melompat ke permukaan, tetapi apabila dua atom mendekati keduanya, peraturan quantum membenarkan elektron menembusi dinding tersebut. STM mengukur penembus ini untuk memetakan permukaan objek tersebut.

Dengan memodulasikan voltan pada hujung ´cantilever´ tersebut, saintis boleh menggunakan kedua-dua teknik ini lebih dari melihat atom, malahan mereka juga dapat menolak dan menarik atom kedalam tempat yang dikehendaki. Kedua-dua ini merupakan teknologi yang penting dalam teknologi nano. Tetapi, penyelidikan nano memerlukan penciptaan corak skala nano yang memerlukan peralatan yang lebih halus dan terperinci.

Peralatan ini ialah litografi e-beam. Berbeza dari fotolitografi, iaitu teknik yang digunakan untuk membuat cip mikro, litografi e-beam tidak dihadkan oleh panjang gelombang cahaya. Dengan menggunakan pancaran elektron dari satu mikroskop pengimbas elektron, penyelidik boleh menghasilkan buatan yang terperinci sekecil beberapa nanometer.